패럴린코팅사업부

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Parylene Coating System 제작

Parylene Coating System

㈜누리텍 Parylene Coating System은 자사 고유특허가 접목 된 독보적인 장비 입니다.
※ 고객의 요청 사항에 따라 장비 사양 및 싸이즈 변경 또는 추가 구성품의 장착이 가능 합니다.

1. NRPC-500

  • - Chamber Inner Size : 400φx500H
  • - Chamber Frame : 900(W)x710(H)x1000(D)
  • - Control Frame : 1100(W)x1510(H)x1000(D)
  • - Rotary Pump, Convectron Gauge, Control Valve
  • - Vapor Trap Chiller : -90˚C 이상 냉각
  • - Vent Valve : Auto
  • - Dimer Evaporation : Vaporizer Max 200˚C
  • * Pyrolizer Furnace : Max 200˚C
  • - Adhesion Promote : Max 200˚C
  • - Operation : Tocuh Panel PC (Data이력관리)

2. NRPC-830

  • - Chamber Inner Size : 680φx830H
  • - Chamber Frame : 1500(W)x1600(H)x800(D)
  • - Control Frame : 1440(W)x620(H)x800(D)
  • - Rotary Pump, Convectron Gauge, Control Valve
  • - Vapor Trap Chiller : -90˚C 이상 냉각
  • - Vent Valve : Auto
  • - Dimer Evaporation : Vaporizer Max 200˚C
  • * Pyrolizer Furnace : Max 800˚C
  • - Operation : Tocuh Panel PC (Data이력관리)

3. NRPC-1200/1500

  • - Chamber Inner Size : 930φx1200/1500H
  • - Chamber Frame : 1350(W)x460(H)x1000(D)
  • - Control Frame : 1600(W)x1850(H)x1000(D)
  • - Rotary Pump, Convectron Gauge, Control Valve
  • - Vapor Trap Chiller : -90˚C 이상 냉각
  • - Vent Valve : Auto & Manual
  • - Dimer Evaporation : Vaporizer Max 200˚C
  • * Pyrolizer Furnace : Max 800˚C
  • - Operation : Tocuh Panel PC (Data이력관리)